打破国外垄断的膜厚仪产品
由我公司研制具有自主知识产权的SI-TM606型超高精度石英晶体膜厚仪，打破了多年来西方国家对我国的技术垄断。产品频率测量精度达到0.002Hz（国外最好产品为0.0047Hz），成为各科研机构的首先产品。