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石英晶体振荡法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的两个效应：压电效应和质量负
荷效应，通过测定其固有谐振频率或与固有谐振频率有关的参量变化来监控沉积薄膜的厚
度。其基本原理如下：
在镀膜系统中探头与被镀衬底同处于镀膜源的镀膜范围内，镀膜开始后衬底与探头
被同时镀膜，当晶片上被镀膜后，晶体总体质量增加，随之谐振频率将会降低，通过一高精
度的频率计测出此频率变化，由此变化量经过一系列的计算即可得出所镀膜层厚度。相同的
膜厚，不同的材料所产生的频率变化时是不同的，所涉及的材料特性为：材料密度和声阻系
数。所以在镀膜开始时必须对材料密度和声阻进行设置。另探头与被镀衬底的相对位置对测
量值影响较大，在系统组成后要对膜厚仪中的比例因子进行设置（具体方法后述）。综上所
述，频率测量分辨率、精度和稳定性是石英晶体膜厚仪产品的的重要指标。