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产品特点:

本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件
编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念,整机实
现模块组合,可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、
OLED 生产线、半导体IC 生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。整机如下特点:
高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术,频率测量分辨率为0.002Hz
(6MHz),测量速度为10 次/S。
高稳定度镀膜速率控制。本机根据测量出的高精度的镀膜速率与设定速率,通
过PID 运算得出输出功率数据,对镀膜源输出功率进行精准控制,实现高稳定
度的镀膜速率控制。
PID 自整定功能。通过本机内置的PID 自整定功能,精确测算PID 运行参数为
实现高稳定度的镀膜速率控制提供保障。
分段预热控制。在镀膜之前对镀膜材料进行分段预热和匀热。对材料进行除气
和除杂,从而对也为实现高稳定度的镀膜速率控制提供保障。
终止膜厚控制。控制仪通过对样品膜层厚度与设定厚度进行比较,来控制样品
挡板或镀膜源挡板,实现终止膜厚控制。
挡板控制。控制仪可以对所连接的样品挡板、镀膜源挡板及探头挡板实现自动
或手动的开关控制。
电子枪坩埚控制。本控制仪可通过输入、输出开关量接口对所连接的不同电子
枪坩埚进行选择操作。
可编程自动化控制。通过本控制仪可对镀膜的整个过程进行程序编辑,以实现
全自动镀膜。
支持多种探头。本控制仪可以连接双晶片探头、多晶片探头以及带挡板的探头,
并对相应探头实现控制。
支持多种镀膜源。本控制仪可连接,电子枪、蒸发镀膜源、磁控溅射靶和多弧
源等镀膜源,并对其实现控制与操作。
模块式结构。本控制仪中测量板、模拟量输出板、开关关量输出板、主控制器
等实现模块化设计,根据具体情况可以进行任意组合或增减。甚至测量模块可
以实现高精度与普通精度模块的混装。
图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面,触屏操作。具有操作
便捷、显示直观易懂等特点,并可提供在线帮助。


1   产品规格


 


1.1 测量模块


项目

普通精度测量板

高精度测量板

说明

测量板输入通道

每块测量板两个通道,独立运行控制

每台控制仪最多可安装4块测量板,并可根据需要普通与高精度板混装。

频率测量分辨率

0.03Hz

0.002Hz

当测量频率为6MHz

频率稳定度

±0.1Hz

±0.01Hz

频率更新速度

10/S

单次测量时间为

频率测量采样时间

0.1~10S

 

膜厚测量分辨率

0.1Å

0.01Å

镀膜材料:“铝”

速率分辨率

0.1Å/S

0.01Å/S

膜厚测量精度

<0.5%

<0.2%

水冷探头,水温变化<±1

探头类型

单晶片、双晶片和多晶片

可选配挡板

晶片初始频率

6MHz

直径14mm


 


1.2 模拟量输出模块

输出通道数量:       6

输出电平标准:       0~10V

输出分辨率:         10mV

稳定度:             ±20mV

线性度:             ±50mV

最大输出电流:       5mA

1.3 开关量输入输出模块

1.3.1  开关量输入口:

输入电压标准:       DC24V4mA

允许输入范围:       20.4~28.8V(纹波<5%

输入阻抗:               5.6KΩ

响应时间:               20mS

1.3.2  开关量输出口:

输出类型:        晶体管集电极开路输出

额定负载:        DC1224V0.5A

负载电压范围:10.2~26.4V

关断漏电流:    <0.1mA

响应时间:        <1mS(阻性负载)

1.4 镀膜程序编辑

程序数量:                      10(控制仪中可编辑10个程序,可选择运行)

程序内镀膜层数:          <=100

程序内可设置循环次数:<60000

预置膜层数量:              50

1.5 显示与操作

显示器规格:           7英寸TFT真彩液晶显示屏

操作方式:               4线电阻式触摸屏

远程控制方式:       RS232RS485通讯接口

1.6 其它参数

供电电压:        AC220V

消耗功率:        <50W

机箱尺寸:        365x160x160mm

存储温度:        -20~50

使用温度:    5~35

环境温度:    <80%(相对温度)不结露

海拔高度:    0~2000m

 

 用户手册:

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