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产品特点

 

本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念,整机实现模块组合,可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。

此系列产品共有三个型号,分别为:TM508普通精度监测仪、TM608高精度监测仪和TM808石英晶体膜层控制仪。

TM608高精度监测仪,采用高精度、高稳定度恒温基准晶体,提高了内部频率计的测量精度和长期稳定性,极大的提高了膜厚测量的稳定度;高精度测量板采用本公司独有的频率测量技术(由于保密原因未申请专利),将频率测量分辨率由0.03Hz提高到0.002Hz。如有必要此种测量方法可无限制的提高测量分辨率(但此方法会受到基准源稳定度和器件稳定度的影响)。

整机如下特点:

l  高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术,频率测量分辨率为0.002HzTM508,测量速度为10/S

l  模块式结构。本控制仪中测量板、主控制器等实现模块化设计,根据具体情况可以进行任意组合或增减。甚至测量模块可以实现高精度与普通精度模块的混装。

l  图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面,触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点,并可提供在线帮助。

 

 

 

 

 

1.1 测量模块

项目

TM508普通精度型

TM608高精度型

说明

测量板输入通道

每块测量板两个测量通道,独立运行控制

每台监测仪最多可安装4块测量板。普通精度和高精度测量板可以混装。

频率测量分辨率

0.03Hz

0.002Hz

当测量频率为6MHz

频率稳定度

±0.1Hz

±0.01Hz

基准源类型

普通石英晶振

恒温石英晶振

TM608开机后必需预热15分钟以上,以保证测量稳定度。

基准源

长期稳定度

±100ppm

±1ppm

温度范围:-40~85

测量

更新速率

10/S

单次测量时间为0.1S

频率测量采样时间

0.1~10S

 

膜厚测量精度

0.1Å

0.01Å

镀膜材料:“铝”

速率测量精度

0.1Å/S

0.01Å/S

测量准确精度

<0.5%

<0.2%

水冷探头,水温变化<±1

晶片初始频率

6MHz

直径14mm

1.2 显示与操作

 

显示器规格:           7英寸TFT真彩液晶显示屏

  操作方式:               4线电阻式触摸屏

  远程控制方式:       RS232RS485通讯接口

  

1.3 其它参数

供电电压:        AC220V

  消耗功率:        <50W

  机箱尺寸:        335x140x160mm

  存储温度:        -20~50

  使用温度:    5~35

  环境温度:    <80%(相对温度)不结露

  海拔高度:    0~2000m

 

TM508/608用户手册下载

 

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