本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调水平开发与制造。引入模块化设计理念,整机实现模块组合,可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。
此系列产品共有三个型号,分别为:TM508普通精度监测仪、TM608高精度监测仪和TM808石英晶体膜层控制仪。
TM608高精度监测仪,采用高精度、高稳定度恒温基准晶体,提高了内部频率计的测量精度和长期稳定性,极大的提高了膜厚测量的稳定度;高精度测量板采用本公司独有的频率测量技术(由于保密原因未申请专利),将频率测量分辨率由0.03Hz提高到0.002Hz。如有必要此种测量方法可无限制的提高测量分辨率(但此方法会受到基准源稳定度和器件稳定度的影响)。
整机如下特点:
l 高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术,频率测量分辨率为0.002Hz(TM508),测量速度为10次/S。
l 模块式结构。本控制仪中测量板、主控制器等实现模块化设计,根据具体情况可以进行任意组合或增减。甚至测量模块可以实现高精度与普通精度模块的混装。
l 图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面,触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点,并可提供在线帮助。
项目
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TM508普通精度型
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TM608高精度型
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说明
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测量板输入通道
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每块测量板两个测量通道,独立运行控制
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每台监测仪最多可安装4块测量板。普通精度和高精度测量板可以混装。
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频率测量分辨率
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0.03Hz
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0.002Hz
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当测量频率为6MHz时
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频率稳定度
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±0.1Hz
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±0.01Hz
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基准源类型
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普通石英晶振
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恒温石英晶振
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TM608开机后必需预热15分钟以上,以保证测量稳定度。
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基准源
长期稳定度
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±100ppm
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±1ppm
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温度范围:-40~85℃
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测量
更新速率
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10次/S
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单次测量时间为0.1S
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频率测量采样时间
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0.1~10S
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膜厚测量精度
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0.1Å
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0.01Å
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镀膜材料:“铝”
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速率测量精度
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0.1Å/S
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0.01Å/S
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测量准确精度
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<0.5%
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<0.2%
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水冷探头,水温变化<±1℃
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晶片初始频率
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6MHz
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直径14mm
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显示器规格: 7英寸TFT真彩液晶显示屏
操作方式: 4线电阻式触摸屏
远程控制方式: RS232、RS485通讯接口
供电电压: AC220V
消耗功率: <50W
机箱尺寸: 335x140x160mm
存储温度: -20~50℃
使用温度: 5~35℃
环境温度: <80%(相对温度)不结露
海拔高度: 0~2000m
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