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简介
TL-180 超小型膜厚监控仪,采用石英晶体振荡原理进行膜厚的在线监测,采用先进
的频率测量技术(本公司自有知识产权技术),为广大用户研制的一款经济型在线膜厚监测
仪器。此仪器具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点,主要用于MBE、
OLED 热蒸发、磁控溅射等设备制备薄膜过程中膜层厚度及镀膜速率的监测,根据实时速
率可以输出PWM 模拟量,可做为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的
闭环速率控制。
本监测仪可与计算机连接,运行本机提供的计算机软件进行显示操作,或与本公司开
发设计的TM108 显示仪配套使用,具有界面简单、直观、合理、操作方便快捷等优点。可
直观显示监测仪所测得的膜厚、速率、频率、PWM 控制输出的百分比及工作状态等,通过
软件或显示仪可对监测仪的门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参
数等相关参数进行设置。并可将所测得的相关数据写入Excel 文件。

 

技术指标
电源要求: DC5V(±10%) 最大电流400 mA
高分辨率: ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å /测量(铝)
最高精度: ±0.5%厚度+1计数
测量速度: 100 mS~1S/次可设置
测量范围: 500,000 Å (铝)
标准传感器晶体: 6 MHz.
显示器: 连接计算机通过软件显示或连接显示仪
计算机接口: RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、
38400可设置,数据位:8 停止位:1 校验:无)
模拟输出: 8比特分辨率 PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)
最大外形尺寸:: 90 x 50 x 18mm (长 x 宽 x 高)
使用温度范围: 0-50,℃室温
湿度范围: 5%-85%RH.,不得有冷凝水珠

 

下载用户手册 VER2.00版本

/kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426150626_8005.zip

 

下载用户手册 VER3.00版本(适用于2016年3月后生产的产品)

 TM106超小型膜厚监测仪用户手册V3.00

下载测试软件

/kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426151635_8434.zip

 

 

 

 

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