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替代型号为： TM508石英晶体膜厚监测仪
本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调工艺研发与制造。可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。整机如下特点：
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高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术，频率测量分辨率为0.03Hz（6MHz）,测量速度为10次/S。
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终止膜厚控制。控制仪通过对样品膜层厚度与设定厚度进行比较，来控制样品挡板或镀膜源挡板，实现终止膜厚控制。
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挡板控制。控制仪可以对所连接的样品挡板、镀膜源挡板及探头挡板实现自动或手动的开关控制。
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可编程自动化控制。通过本控制仪可对镀膜的整个过程进行程序编辑，以实现全自动镀膜。
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图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面，触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点，并可提供在线帮助。
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项目
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普通精度测量板
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说明
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测量通道
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6通道，独立运行控制
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固定6通道,可独立运行,同时显示.
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频率测量分辨率
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0.03Hz
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当测量频率为6MHz时
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频率稳定度
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±0.1Hz
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频率更新速度
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10次/S
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单次测量时间为
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频率测量采样时间
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0.1~10S
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膜厚测量分辨率
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0.1Å
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镀膜材料：“铝”
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速率分辨率
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0.1Å/S
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膜厚测量精度
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<0.5%
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水冷探头，水温变化<±1℃
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探头类型
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单晶片、双晶片和多晶片
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可选配挡板
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晶片初始频率
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6MHz
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直径14mm
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输出通道数量： 6
输出电平标准： 0~10V
输出分辨率： 10mV
稳定度： ±20mV
线性度： ±50mV
最大输出电流： 5mA
1.3.1 开关量输入口：
输入电压标准： DC24V（4mA）
允许输入范围： 20.4~28.8V（纹波<5%）
输入阻抗： 约5.6KΩ
响应时间： 20mS
输出类型： 晶体管集电极开路输出
额定负载： DC12、24V（0.5A）
负载电压范围：10.2~26.4V
关断漏电流： <0.1mA
响应时间： <1mS(阻性负载)
程序数量： 1
程序内镀膜层数： 14层
显示器规格： 4.3英寸TFT真彩液晶显示屏
操作方式： 4线电阻式触摸屏
远程控制方式：RS232、RS485通讯接口
供电电压：AC220V
消耗功率：<30W
机箱尺寸：483x89x200mm
存储温度：-20~50℃
使用温度：5~35℃
环境温度：<80%(相对温度)不结露
海拔高度：0~2000m
用户手册：
/kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426152754_9641.zip