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替代型号为: TM508石英晶体膜厚监测仪
产品特点:
本机采用我公司专有的高速高精度频率测量技术、计算机控制技术、高超的软件编程技术及精湛的设计、加工与装调工艺研发与制造。可为您提供最优化的和最经济的产品。本产品广泛应用于光学镀膜机、OLED生产线、半导体IC生产线及其它高精准膜层厚度控制的镀膜机。整机如下特点:
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高速高精度测量。采用本公司特有的频率测量技术,频率测量分辨率为0.03Hz(6MHz),测量速度为10次/S。
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图形化界面、触屏操作。本控制仪全部采用图形化界面,触屏操作。具有操作便捷、显示直观易懂等特点,并可提供在线帮助。
项目
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普通精度测量板
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说明
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测量通道
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6通道,独立运行控制
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固定6通道,可独立运行,同时显示.
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频率测量分辨率
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0.03Hz
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当测量频率为6MHz时
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频率稳定度
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±0.1Hz
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频率更新速度
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10次/S
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单次测量时间为
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频率测量采样时间
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0.1~10S
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膜厚测量分辨率
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0.1Å
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镀膜材料:“铝”
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速率分辨率
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0.1Å/S
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膜厚测量精度
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<0.5%
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水冷探头,水温变化<±1℃
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探头类型
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单晶片、双晶片和多晶片
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可选配挡板
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晶片初始频率
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6MHz
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直径14mm
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显示器规格: 4.3英寸TFT真彩液晶显示屏
操作方式: 4线电阻式触摸屏
远程控制方式:RS232、RS485通讯接口
供电电压:AC220V
消耗功率:<30W
机箱尺寸:215x90x190mm
存储温度:-20~50℃
使用温度:5~35℃
环境温度:<80%(相对温度)不结露
海拔高度:0~2000m
用户手册:
/kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426153744_8666.zip