由于产品技术升级，此型号已经停产，请用户见谅！

替代型号为： TM608高精度膜厚监测仪

用途和特点
该款膜厚监测仪为沈阳赛恩斯有限公司研发和制造。它主要是用于真空设备在蒸发、
磁控溅射、直流溅射等镀膜过程中， 动态地监测膜层的几何厚度、沉积速率等参数的专用
仪器。该款监测仪具有同步检测通道多，测量数据准确、稳定、一致性好、显示直观、操
作方便等特点。本款监测仪可以很方便地通过键盘或串口对测量门控时间、材料、速率算
法、比例因子等进行设置。测量周期可在0.1－1 秒间进行选择，以适应高精度或高速率的
不同需求。监测过程中可以通过串口实时地对设备实时进行数据采集、启动、停止等控
制，为远程监测和镀膜控制提供了方便。本款监测仪还配有与速率成正比的0－10V 的同步
输出，为用户对镀膜速率的监视和和控制提供了方便，膜厚监控仪采用插卡式结构，可选
配成2 通道，4 通道，6 通道和8 通道。串口可以根据用户的要求选配232、485 等不同协
议的接口。

产品特点：
1、超高精度测量。采用自有知识产权的高精度测频技术，频率测量分辨率：0.002Hz/s。 
2、插卡式结构： 采用插卡式结构，可插入4块测量卡（2通道/卡）、输出输出卡、电源卡等， 方便维护与升级。 
3、具有模拟量输出接口，通过调节仪可对镀膜源进行控制，构建镀膜速率闭环控制系统，对镀膜速率进行精确控制。
4、界面友好易操作。采用蓝背光大屏幕液晶显示，大键盘操作。 
5、挡板控制。6路开关量输出，可外接源挡板，可对挡板进行控制。
6、计算机控制： 可直接连接计算机使用，由计算机控制和显示，并可将测量数据导入Excel表。 随机提供计算机测试软件。一台计算机可接多台膜厚仪。

注：本产品最新升级改进型号为：TM606A

 技术指标

用户手册：

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