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产品简介
SE300 系列石英晶体膜厚探头(简称:探头),采用先进的设计技术
设计,高精度数控机床加工。连接于本公司生产膜厚仪使用。具有如下独特功
能:
1) 可用于高真空环境,真空漏率小于1X10-10PaLS.
2) 气动探头挡板(选配件),外接气源控制挡板开关。
3) 全新水冷结构设计,内置水道设计提高水冷能力。
4) 水管可伸缩设计,在大气状态可改变伸入真空室长度。

 

技术指标
适用晶片频率: 6MHz
适用晶片尺寸: 直径:14mm
安装法兰规格: CF35
冷却水管长度: 300mm、500mm、1000mm
水管规格:       直径 3mm
冷却水压:       <0.3MPa
气动挡板路管规格: 直径 3mm
压缩空气压力: <0.8 MPa、>0.5 MPa
晶片类型:       6MHz
烘烤温度:       通水状态: <200 摄氏度
不通水状态:    法兰<100 摄氏度
电气接口:       BCN 插座


用户手册

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