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沈阳赛恩斯科技有限公司

膜厚仪产品选型表

 

功能

TM106

超小型

TM206

普通型

TM508/608(高精度)

模块化组合型

TM806模块化

控制型

频率测量精度

0.03Hz

0.03Hz | 0.002Hz(高精度)

膜厚测量分辨率(铝)

0.1Å

0.1Å | 0.01Å(高精度)

速率测量分辨率(铝)

0.1Å/S

0.1Å/S | 0.01Å/S(高精度)

测量准确度

0.5%

0.5% | 0.2%(高精度)

基准源

100MHz普通晶体

100MHz普通 |恒温晶体(高精度)

测量通道数量

1CH

6CH

2468CH/

可选装普通或高精度测量板

配接振荡器

自带

SIZD200300400

适应晶片

6MHz

显示方式

可配接TM108显示器、PLCPC

4.3480x272TFT真彩液晶显示器

7640x480TFT

真彩液晶显示器

操作方式

显示仪或PC机软件

触摸屏

触摸屏

通讯功能

RS232

RS-232/RS485选装

通讯协议

自定义、Modbus协议

Modbus协议

Modbus协议

供电电压

DC5V

AC220V

机箱尺寸(mm)

70x35x20

215x85x190

335x140x160

365x160x160

膜层控制功能

 

注:1m=1x1010 Å     1um=10000 Å      1nm=10 Å

 

沈阳赛恩斯科技有限公司

沈阳科瑞蒂科技有限公司

王文君

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