功能

TM106

超小型

TM206

普通型

TM508/608（高精度）

模块化组合型

TM806模块化

控制型

频率测量精度

0.03Hz

0.03Hz | 0.002Hz（高精度）

膜厚测量分辨率（铝）

0.1Å

0.1Å | 0.01Å（高精度）

速率测量分辨率（铝）

0.1Å/S

0.1Å/S | 0.01Å/S（高精度）

测量准确度

0.5%

0.5% | 0.2%（高精度）

基准源

100MHz普通晶体

100MHz普通 |恒温晶体（高精度）

测量通道数量

1CH

6CH

2、4、6、8CH/

可选装普通或高精度测量板

配接振荡器

自带

SI－ZD200、300、400

适应晶片

6MHz

显示方式

可配接TM108显示器、PLC或PC机

4.3吋480x272TFT真彩液晶显示器

7吋640x480TFT

真彩液晶显示器

操作方式

显示仪或PC机软件

触摸屏

触摸屏

通讯功能

RS－232

RS-232/RS485选装

通讯协议

自定义、Modbus协议

Modbus协议

Modbus协议

供电电压

DC5V

AC220V

机箱尺寸(mm)

70x35x20

215x85x190

335x140x160

365x160x160

膜层控制功能

无

无

有