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产品简介:

本镀膜机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。具有如下特点:

a)     电阻式双蒸发源。本机采用电阻式双蒸发源结构,可快速实现蒸发源的转换。

b)     桌面小型一体化结构。本机对真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计,体积与一台A3打印机相仿(不包含真空机组,440x240x260mm,宽XX深),可放到手套箱中使用。

c)     双蒸发源。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源,适应相应的镀膜材料。

d)     高稳定度恒流蒸发电源。本机配装0.1%精度蒸发电源,并具有恒流输出功能,对蒸发舟能起到很好的保护作用。

e)     镀膜厚度与速率控制。本镀膜机可选配本公司研制石英晶体膜厚控制仪,在镀膜过程中可对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

f)      数据记录。镀膜机可将采集到的镀膜数据保存到U盘,便于用户分析控制(选配)

g)     模块化设计。本机将所有功能设计成标准化模块,根据用户不的需求对相应模块进行组合。以达到最优化的镀膜环境。并便于用户维修与维护。

h)     图形化操作界面及触屏控制。本机操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂。


技术指标

供电电压:         AC220V/50Hz/1500W

蒸发电源功率:     1000W/5V/200A

蒸发电极有效距离: 50mm

样品台规格:        直径100mm(可旋转)

膜厚测量精度:     0.1Å0.01Å(可选配高精度型)

外接真空机组:      扩散泵机组、可选配国产110机组或进口机组。

真空接口规格:    KF40

极限真空度:        >3.0x10-3Pa(扩散泵)、3.0x10-4Pa(分子泵)

工作真空度:       5.0x10-3Pa

使用环境温度:     <35

使用环境湿度:     <75%(相对湿度)不结露

使用环境海拔:     <1500m

外型尺寸:         440x240x260(xx)不包含真空机组

重量:             47Kg不包含真空机组

 

用户手册下载:

EC180小型蒸发镀膜机

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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