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产品简介
SI-PDF300 型系列等离子清洗机,是采高效率电子管作为末级输出。 ARM
单片机做整机控制的新型离子清洗机。由于采用ARM 单片机做整机控制,实现真空
压力检测、定时控制和功率控制集成控制。可以广泛的用于清洗各种基片材料和晶体
上纳米级的有机污染物。在“HI”功率状态下最大去除污染物的速度为20nm/min。
在做外延沉积之前对单晶衬底进行清洗能够达到更好的沉积效果。并具有如下独特功
能:
1) 三档功率输出,按键控制;
2) 内建定时器,可实现定时关机;
3) 内建真空压力检测。
4) RF 输出功率检测,无输出报警
5) 体积小重量轻。最大外形尺寸400 x 300 x 300 全机仅10.2kg;
6) LED 数码管显示及轻触按键控制,操作简单、使用方便。

 

1 、技术指标
1.1 RF 电源
供电电源要求: AC220V / 50Hz(±10%) 最大电流2A
输出频率: 3.0MHz(±1%)
输出功率: 7.2、10.2、29.6W三档
1.2 清洗腔
内部尺寸: Φ160 x 190mm
材质: 高纯度石英管
腔门: 可开关的密封法兰门(带充气装置)
1.3 真空系统
真空泵: 2L旋片式机械泵(选配)
真空泵接口: ø25
真空计: 1Pa~1x105Pa(内置)
三通阀: 1/8英寸
微调阀: 1/8英寸
充气接口: 卡套(Φ6mm)
气体种类: N2、Ar、O2 等非腐蚀性气体,严禁充入易燃易爆气体
1.4 控制及其它
显示器: 一组四位LED数码管
最大外形尺寸: 主机 400 x 300 x 300mm ( 宽 x 高 x 深 )
重量: 主机 10.2kg (不含真空泵)
使用温度: 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围: 5%-85%RH.,不结露

 

用户手册

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