产品简介

SI－RF600C型系列射频电源，是采用大功率电子管作为末级输出，晶体管做前级驱动，开关稳压电源作为大功率电子管的灯丝电源，ARM单片机做整机控制,带触屏的液晶显示器作为人机交互部件的新型射频电源。由于采用开关电源做灯丝电源，射频晶体管做前级驱动，电网波动对灯丝电流及栅极驱动的影响降到了可以忽略不计 。所以大大的延长电子管的使用寿命。微电脑控制技术的应用使系统的保护更加完善，输出功率更加稳定。全新设计的散热系统，加之采用了离心风机作为冷却系统的风，使得大功率电子管的工作温度大大降低、工作寿命更长更稳定，并可长时间连续工作。由于采用了触屏和TFT彩色液晶显示器，再辅以适当的软件，所以控制更灵活，人机交互界面更友好，使用更方便。

 匹配器具有自动匹配和跟踪功能。如果主机设置为真空室负偏压检测工作方式，在启动自动调谐后及手动调谐期间匹配器会自动产生一个-2000V的点火电压，使得在较高真空度情况下的匹配更容易。

 本电源可以广泛的用于磁控溅射镀膜、等离子发生器、溅射、PECVD、等离子刻蚀等方面应用。

 本电源具有如下功能：

 1)   射频恒功率输出；

 2)   控制精度高，可达0.5%+1字；

 3)   一键式自动调谐匹配及自动跟踪。

 4)   匹配器可以根据需要自动产生-2000V的点火电压使匹配更容易。

 5)   数据显示采用带触摸屏的液晶显示器，显示控制直观方便精度高。

 6)   多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；

 7)   RS232及RS485通讯接口,可实现全功能遥控与遥测；

 8)   全新的散热系统设计，本电源在不堵塞散热孔的前提下可连续工作。

 9)   体积小重量轻。最大外形尺寸483 x 160 x 350全机仅16.2kg；

 10)  本机具有模拟功率遥控接口，可与控制器组成闭环控制系统。