产品简介
SI－DSCR500 型智能可控硅电源控制器，采用先进的数字可控硅触发
控制技术、微电脑控制技术、完善的反馈控制技术及先进的电路设计技术研发
设计，特别适用于磁控溅射镀膜电源、等离子发生器电源、蒸发电源等对过
流、过压、过功率控制要求非常高的特种电压。具有如下独特功能：
1) 恒压、恒流和恒功率三种工作模式；
2) 控制精度高，可达0.5%+1 字；
3) 多种智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；
4) RS232 通讯接口,可实现全功能遥控与遥测；
5) 多种输出设定方式。可以通过面板按键、外接电位器、输入模拟控制信号及
远程通信进行输出设定；
6) 多功能显示器，可显示“电压、电流”、功率”和 “运行时间”等
7) 高速灭弧功能，可有效抑制磁控靶的放电现象，对磁控靶及靶材具
有良好的保护作用；
8) 使用简单，外接可控硅、变压器及相应的传感器即可工作；
9) 软起动功能，0.1~31.9 秒可本地或遥控设置；
10) 体积小重量轻。最大外形尺寸96 x 48 x 100；
11) 多种波形反馈信号检测，内置电压、电流反馈输入调理电路,可对0-
100mV 的直流、脉冲直流、正弦信号、脉冲交流信号等多种传感器信号进行调
理；
12) 轻触按键，操作简单、使用方便。

、技术指标
供电电源要求： 双AC15~18V / 50Hz 最大电流0.5A
运行模式： 恒流、恒压、恒功率（可手动选择） 恒功率模式为选配功能
输出方式： 双路触发脉冲
可控硅最大电流： 1000A
短路响应时间： <20mS
控制精度： 0.5 % +1字
显示器： 双四位LED数码管
计算机接口： RS-232串行接口（可选件）
软启动时间： 0.1~39.1S
最大外形尺寸： 96 x 48 x 100 ( 宽 x 高 x 深 )
使用温度： 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围： 5%-85%RH.，不结露

应用范例

用户手册

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