SI-DC500、1000型多功能直流电源,采用先进的高频PWM开关电源控制技术、微电脑控制技术、完善的反馈控制技术及先进的电路设计技术研发设计,用于磁控溅射镀膜、等离子发生器、溅射及CVD偏压等方面。并具有如下独特功能:
1) 恒压、恒流和恒功率三种工作模式;
2) 控制精度高,可达0.1%+1字;
3) 多种多重智能保护及故障检测功能,运行可靠性高;
4) RS232或RS485通讯接口,可实现全功能遥控与遥测;
5) 外控接口,可实现外部模拟控制及级联输出功能;
6) 20微秒高速灭弧功能,可有效抑制磁控靶的放电现象,对磁控靶及靶材具有良好的保护作用;
7) 双通道输出,可本地或遥控切换选择;
8) 软起动功能,0.1~10秒可本地或遥控设置;
9) 体积小重量轻。最大外形尺寸483 x 89 x 200全机仅4.2kg;
10) 定时关机功能,1~9999秒可本地或遥控设置;
11) 4.3吋彩色液晶屏显示,触摸屏操作。操作简单、使用方便。
12)输出电压有600V和1200V两种电压可供选择。
供电电源要求: AC220V / 50Hz(±10%) 最大电流5A
运行模式: 恒流、恒压、恒功率(可手动选择)
最大输出电压: 600V、1200V(两种机型,订货时选择)
最大输出电流: 1A、0.5A
最大输出功率: 500W、1000W
负载调整率: >99.86%
短路响应时间: <5mS
控制精度: 1% +1字、0.1%+1字(订货时可选选择)
显示器: 4.3吋彩色液晶显示屏
计算机接口: RS-232/485串行接口 (选配件)
定时器最大时间: 9999S
软启动时间: 0.1~10S
最大外形尺寸: 483 x 89 x 200 ( 宽 x 高 x 深 )
重量: 4.2kg (电源主机)
使用温度: 0-40℃ (电源/显示器)
湿度范围: 5%-85%RH.,不结露
用户手册下载:
DC500/1000E多功能直流电源用户手册
通讯协议下载:
DC500E通讯协议